XONOX参展深圳光博会,全面升级的菲索激光干涉仪即将亮相!

关于XONOX

XONOX 总部位于德国光学工业重镇——黑森州韦茨拉尔(Wetzlar)。三十年来,我们始终专注于光学计量设备的研发与制造,致力于为精密光学领域提供量身定制的计量解决方案。德国专业团队在精密光学加工、计量及相关机械制造领域拥有近 30 年深厚经验,核心产品涵盖菲索式激光干涉仪、透射球面镜等干涉仪附件,以及偏心仪、中心厚度测量仪等多种几何尺寸测量系统,广泛应用于高端光学制造与检测场景。

 

聚焦中国·全面布局

 

 

自 2026 年起,XONOX 加大在华投入,组建了覆盖专业工艺、算法、软件、电子、精密光学及机械设计的全链条本土团队。

 

我们深度理解本地客户的应用技术需求,依托严格环境控制的计量实验室,持续优化本地供应链,实现技术和生产的完全自主可控。

 

针对最具挑战的应用场景,XONOX 中国团队将为您提供具备关键使能技术的光学计量解决方案,助力中国精密光学产业迈向更高精度与效率。

 

 

深圳 CIOE 2026 展示亮点:波长调制算法及采样技术

2026年9月9-11日,XONOX 将在深圳光博会上重点呈现在菲索激光干涉仪中搭载的两项核心算法与采样技术——傅里叶波长调制算法及抗振波长调制算法。这两项技术针对复杂干涉测量环境中的共性难题,提供了切实有效的创新路径。

 

 

PART.01

傅里叶波长调制算法及采样

 

波长调制时,激光频率/波长的调制量会引起不同干涉腔的相位变化,且该变化与对应腔长呈线性关系。这一特性使得干涉信号在频域上可被分离,从而有效区分不同腔长的干涉光强信号,应对特殊计量需求。

 

平行表面干涉腔(如 3mm 平行平面样品的前后表面同时干涉)

 

 

PART.02

抗振波长调制算法及采样

波长调制算法和采样,另一个重要的优势就是,可以对超大口径干涉腔,或者客户定制的特异口径干涉腔,方便地进行相位调制。

 

这类场景中,各类大口径平面或者球面干涉腔,往往容易受到环境振动的影响;加上波长调制采样时,调制波长或频率的步距,需要随着腔长自适应调整匹配,不像压电陶瓷是严格标定而长期使用,所以 模式化抗振+波长调制,这一算法和采样组合,成为最合适的解决方案。

 

经典移相模式RMS标准方差:0.00369波长

 

抗振移相模式RMS标准方差:0,00109波长

 

XONOX中国团队在模式化抗振算法上已经取得突破,能够以更高阶模型,有效降低各类复杂干涉腔环境振动的影响,同时并不损失干涉测量的Z向精度,以及横向分辨率。

 

 

XONOX诚邀您莅临 2026 深圳 CIOE 光博会 3号馆 3D36 展位,现场交流体验!也欢迎持续关注 XONOX 光测,或致电 400-166-0098,获取最新技术动态与专业支持。

 

 

 

2026年8月10日 13:40