X-fiz 150
斐索式 移相干涉仪
| 创新型高品质泰曼-格林干涉仪，配备高分辨率 500 万像素相机及独立 160 万像素对准相机。 | |
| 智能接口 | |
| • | 软件控制的数字变焦，实现最佳图像处理 |
| • | 软件控制的电动光瞳对焦 |
| • | 自动曝光与增益控制，达到理想条纹明暗对比度 |
| • | 计算机与干涉仪间所有通信采用行业标准USB协议 |
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强大的减振系统，完美适用于工业生产环境 |
| 精巧结构 | |
| • | 高刚性机身与坚固的光机设计，确保长期安装后仍保持对准状态 |
| • | 高品质压电移相器，标准镜倾斜调整支架，兼容Zygo式卡口及 XONOX 4+ 连接器 |
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光纤耦合633nm波长稳定激光器 |
| 智能维护 | |
| • | 激光自动控制，延长使用寿命，并在寿命临近结束时提醒用户 |
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创新设计概念，数分钟内即可完成激光器及电气元件的更换（更换激光器无需重新校准，且干涉仪仍可安装在测量平台上进行操作） |
| 规格尺寸 | |
| • | 提供100mm（4英寸）、132mm（5.2英寸）和 150mm（6英寸）三种版本，5.2英寸版本兼容XONOX 4+系列透射球面物镜，无需光学连接器 |
