PI 500S
子孔径拼接干涉仪系统
| • | 精密的立式干涉仪，用于全孔径测试直径/对角线达600mm的平面光学元件 |
| • | 集成式、基于花岗岩的空气轴承，提供精确且免维护的水平及旋转运动 |
| • | 易于操作的倾斜/偏摆设置，用于条纹调整 |
| • | 根据工件形状和尺寸自动计算拼接图案 |
| • | 使用电子控制的C轴和Y轴进行子孔径测量的电子定位 |
| • | 由天然花岗岩制成的精密减振测量台，具有高平面度，确保精确分析 |
| • | 可调节的干涉仪高度，用于针对不同工件厚度设置最佳位置 |
| • | XONOX X-fiz 150（6英寸）高性能相移斐索干涉仪，配备500万像素CMOS相机、稳定的二极管激光器以及电子控制的变焦、对焦和对比度功能 |
| • | 创新、强大且用户友好的条纹分析系统X-fringe PS2，具有多种智能模式，适用于非拼接操作中的各种应用 |
| • | 适用于X-fringe PS2的子孔径拼接软件包，通过将计算数量的子孔径测量结果组合成全表面分析，实现对大型平面光学表面的全孔径分析 |
